圆形平晶的平面光带检测仪

　　、圆形平晶的平面光带检测仪

　　圆形平晶的工作面放置在被检查零件表面，同时采用钠光灯作为光源进行检查形成的光带条数。

　　第二、圆形平晶具体规格：

　　1.每组平行平晶共四块，分四个尺寸系列组。

　　2.测量面上平面度偏差： <0.1μm 。

　　3.平面度局部偏差：>0.03μm。

　　4.测量面平行度误差： 组Ⅰ系列允差值：0.06μm。

　　5.组Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm。

　　组Ⅳ系列允差值：0.1μm