干涉条纹如何计算平面平晶的面形误差？

发布时间2014-09-16        浏览次数：1331

　　摘要：平面平晶测量工作面的平面度，它的面形误差是如何计算的，下面小编详细介绍。

　　、平面平晶测量工作面的平面度

　　平面平晶用于检定量块的研合性和平面度以仪器和量具的测量面、工作面的平面度，亦可用于检定的平面零件。平面平晶：特别适用于计量单位、实验室作为标准平面和样板。

　　第二、平面平晶的平面度偏差值范围

　　1.直径为30至100- 1级平晶0.035m

　　2.直径为100至300mm I级平晶0.055m

　　3.更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值，根据标准。

　　4.平面平晶工作面的局部偏差允许值为:0.03 5 m

　　5.平面平晶测量工作应在室温20℃士3C条件下保持数小时后进行。

　　第三、平面平晶的具体参数

　　1.每组平行平晶共四块，分四个尺寸系列组。

　　2.测量面上平面度偏差：<0.1UM。

　　3.平行度局部偏差： >0.03UM。

　　4.测量面平行度误差：组1系列允许差值：0.06UM。

　　5.组2、3系列允许差值：0.08UM。

　　6.组4系列允许差值：0.1UM。

　　第四、用干涉条纹来计算平晶的面形误差

　　如果要定量计算，一般好是用移相干涉法，可以得到每一点的相对高度，从而得到整个面的面形。如果只有一幅干涉图，就只能倾斜平晶或者参考镜使得干涉条纹变成密集的直线组，然后用傅里叶变换法求解。如果只是定性的看一看面形好坏则比较简单了，如果条纹都是直条纹，说明面形是好的，如果条纹弯的就说明面形不好，弯的越厉害面形越差。